Fokus auf die Spezialgasindustrie

Zu den elektronischen Gasen zählen elektronische Spezialgase und elektronische Massengase.Sie sind unverzichtbare und Schlüsselmaterialien im Herstellungsprozess von integrierten Schaltkreisen, Anzeigetafeln, Halbleiterbeleuchtung, Photovoltaik und anderen Branchen.Elektronische Spezialgase sind notwendige Hilfsmaterialien für die Herstellung integrierter Schaltkreise.Sie werden häufig in den Bereichen Fotolithographie, Ätzen, Filmbildung, Reinigung, Dotierung, Abscheidung und anderen Prozessverbindungen eingesetzt.Sie stellen hohe Anforderungen an Reinheit, Stabilität, Verpackungsbehälter usw., bekannt als „Nahrung“ und „Blut“ der Halbleiterindustrie.Die Herstellung integrierter Schaltkreise umfasst Tausende von Prozessen, die äußerst komplex sind und den Einsatz Hunderter elektronischer Spezialgase erfordern.Bei der Herstellung integrierter Schaltkreise können elektronische Gase je nach Prozess in Dotierungsgase, Ionenimplantationsgase, Reinigungsgase, Ätzgase und Photolithographiegase unterteilt werden.Elektronische Gase sind weit verbreitet und stellen hohe technische Anforderungen.An Quellen und deren Versorgungssysteme werden hohe Anforderungen gestellt.Die Gasreinheit ist der Kernparameter spezieller Gasprodukte, die ultrarein und ultrarein sein müssen.Ultrapure erfordert eine Gasreinheit von 4,5 N, 5 N oder sogar 6 N oder 7 N.Jedes Mal, wenn die Reinheit um ein N zunimmt und jedes Mal, wenn die Konzentration von Partikeln und Metallverunreinigungen um eine Größenordnung abnimmt, erhöht sich die Gasreinheit um eine Größenordnung.Erhebliche Verbesserungen der Prozesskomplexität und -schwierigkeit.Bei Mischgasen ist die Genauigkeit des Mengenverhältnisses der zentrale Parameter.Da die Produktkomponenten zunehmen und die Vorbereitungsgenauigkeit zunimmt, müssen Gaslieferanten häufig präzise Vorgänge an Gaskomponenten mit unterschiedlichen Konzentrationen im ppm- oder sogar ppb-Bereich durchführen.